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雜質(zhì)對(duì)硅微粉的影響

發(fā)布時(shí)間:2022-05-25 15:07:03人氣:

因?yàn)橹谓?strong>硅微粉材料的雜質(zhì)較多,雜質(zhì)成分較復(fù)雜,其中不少雜質(zhì)會(huì)與氧發(fā)各種各樣的復(fù)合作用,因而可能會(huì)影響硅微粉材料的壽命。而用治金法的硅材料拉單晶的時(shí)候,因?yàn)楣璋舻倪吘壉戎虚g先結(jié)晶(在切割硅片的平面上,由于分凝效應(yīng),雜質(zhì)向中部富集,導(dǎo)致每個(gè)硅片中都的雜質(zhì)偏高。因此,硅片中的少子壽命較短,邊緣的少子壽命較長。引起這種現(xiàn)象的雜質(zhì),應(yīng)該主要是金屬雜質(zhì),尤其是鐵、鋁、鈣,以及碳。對(duì)于化學(xué)法的多晶硅微粉材料來說,因?yàn)殡s質(zhì)較少,因此這個(gè)現(xiàn)象不明顯,所以沒有這個(gè)現(xiàn)象。但是這個(gè)現(xiàn)象是治金法多晶硅微粉不可避免的現(xiàn)象,則有失準(zhǔn)確。實(shí)際上,有學(xué)者研究過,在后續(xù)的硅料中,經(jīng)過拉品切片后,就已經(jīng)不存在此現(xiàn)象。可見,物理法多晶硅微粉也是可以避免這個(gè)現(xiàn)象的,關(guān)鍵還是在雜質(zhì)是否能夠充分去。

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