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硅微粉中的雜質(zhì)

發(fā)布時(shí)間:2022-05-25 15:09:00人氣:

硅微粉中的碳元素主要來(lái)源:硅礦自帶的碳元素、一是金屬硅吹氧不充分,可能將一些碳元素帶入硅材料中,除硅中的碳元素另外,在多晶硅和單晶硅微粉材料中,由于通第采用石墨加熱件和碳?xì)直伢w,因此在高溫下,因此會(huì)有碳蒸汽的揮發(fā),進(jìn)入到硅微粉材料中,也會(huì)增加硅中的碳含量。但由于碳的分凝系數(shù)只有0.07。因此,在定向凝固時(shí),碳將聚集在硅錠的頂都,或單晶硅坩堝的鍋底,碳與硅同族,一次碳在硅中不會(huì)產(chǎn)生施主或受主作用。不過(guò)碳的存在還是會(huì)對(duì)硅的性質(zhì)產(chǎn)生一定的影響,通常,在直拉單晶和多晶硅鑄錠的時(shí)候,碳自身時(shí)很難形成沉淀的,也很難與氧生成氧沉淀或碳氧復(fù)合體,但是如果在從高溫到低溫又向高溫進(jìn)行退火處理的時(shí)候,則硅中的碳濃度和氧濃度同時(shí)發(fā)生變化,因此:有專(zhuān)家推測(cè)在退火過(guò)程中,碳原子能夠成為氧沉淀的核心:形成原生氧沉淀但這種沉淀是不穩(wěn)定的,在高溫下,又會(huì)溶解,導(dǎo)碳氧濃度又上升,從而對(duì)材料產(chǎn)生影響。

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